■ XY轴平台: 29.2x29.2x17.4mm
‧ 行程：XY 4mm
‧ 重复定位精度：±3p
‧ 移动速度：10mm/s
‧ 驱动器：TD-102
‧ 驱动电机：TULA50 (16.5mm)
‧ 分辨率：1μm/p (A，B相)，Z相 (异步) 或选择 0.1，0.5μm/p
‧ 推力：60gf 、 保持力：250gf

■ Θ轴平台: 32x26x12.1mm
‧ 重复定位精度 : ±3p (±0.015°)
‧ 驱动器 : TD-102
‧ 中空(贯通)孔径 : Φ5
‧ 扭矩 : 50g•cm (保持扭矩 : 150g•cm)
‧ 分辨率 : 0.005°/p (A、B相)
‧ 驱动电机 : TULA70(22mm)
‧ 移动量 : 6°或选择76°,90°,360°

■ Finger模块: 21.9x16x11.8mm
‧ 2轴Finger行程 : 3mm
‧ Finger推力 : 10gf
‧ Finger保持力 : 50gf
‧ 控制 : 脉冲控制(开回路控制)
‧ Finger材质 : SUS (镀无电解镍)