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O.P.S 系列光学系统
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● 线性:1μm,0.5μm,0.1μm或50nm
旋转:163k到3.27M CPR
线性精度:金属玻璃尺:≤±5μm/m
旋转精度:±3.9角秒(外径64mm玻璃光学尺)
周期误差:金属光学尺:±40nm
输出:A/B/Index/Dual Limit/Alarm
同一读头适用线性金属或圆形玻璃光学尺
读头内建LED讯号强度灯/双光学极限
金属尺简易快速安装
可客制化原点/极限位置

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