● 线性:1μm,0.5μm,0.1μm或50nm
● 旋转:163k到3.27M CPR
● 线性精度:金属玻璃尺:≤±5μm/m
● 旋转精度:±3.9角秒(外径64mm玻璃光学尺)
● 周期误差:金属光学尺:±40nm
● 输出:A/B/Index/Dual Limit/Alarm
● 同一读头适用线性金属或圆形玻璃光学尺
● 读头内建LED讯号强度灯/双光学极限
● 金属尺简易快速安装
● 可客制化原点/极限位置